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面议电子枪 | 冷场发射电子枪 |
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加速电压 | 300kV |
能量过滤器 | 柱体内能量过滤器 |
样品倾斜角 | ±70° |
样品台 | |
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使用制冷剂 | 液氮、内置液氮自动供应系统 |
样品冷却温度 | 100K 以下 |
温度测试位置 | 样品、低温防护罩、液氮箱 |
样品移动 | |
X、Y | 马达驱动(移动范围± 1mm) 压电元件 (移动范围± 0.5μm) |
Z | 马达驱动(移动范围± 0.2mm) |
X倾斜 | 马达驱动(倾斜范围± 70°) |
在样品平面内旋转 | 0°或90° |
样品交换室 | 气锁方式、自动控制冷冻传输系统内置 |
样品冷却温度(换样室) | 105K 以下 |
样品交换盒 | 一次最多交换4个样品 |
载样台 | 最多载样12个 |