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面议二次电子像分辨率 | 0.8 nm(加速电压 15 kV),1.0 nm(加速电压 1 kV ) 分析时 3.0 nm (加速电压 15 kV, WD 8 mm, 探针电流 5 nA ) |
倍率 | Direct magnification: x25 to 1,000,000(120 x 90 mm) Display magnification: x75 to 3,000,000(1,280 x 960 pixels) |
加速电压 | 0.1 ~ 30 kV |
探针电流 | 数 pA ~ 200 nA |
电子枪 | 浸没式肖特基场发射电子枪 |
透镜系统 | 聚光镜(CL)、 光阑角控制镜(ACL)、 半浸没式物镜(OL) |
样品台 | 全对中测角样品台、5轴马达驱动 |
电子检测器系列 | 高位检测器、 r‐过滤器 内置、 低位检测器 |
自动功能 | 自动聚焦、自动消象散、自动亮度/衬度调节 |
图像观察用 液晶显示器 | 屏幕尺寸 23英寸宽屏 分辨率 1,920 × 1,080像素 |
抽真空系统 | 电子枪室/中间室 SIP 离子泵 样品室 TMP 分子泵 |