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产品特点：
u PLC工控机控制整个清洗过程，实时参数状态直观显示。
u 整个清洗过程全自动进行。
u 处理高效均匀，效率高，工艺重复性好。
u 标配双路气体输送系统，可选多气路气体输送系统，气体分配均匀。可输入氧气、氩气、氮气、四氟化碳、氢气或混合气体等气体。
u 合理的结构设计，设备占用空间小。
u 可处理各种材质、形状、尺寸样品。
u 样品处理温度低，无热损伤和热氧化。
u 使用成本低、耗损小。
u 产品性能稳定，安装与维护简便方便。
技术参数：
型号 | CPC-80 | CPC-120 | CPC-150 |
舱体尺寸 | W400xH400xD500mm | W500xH500xD450mm | W500xH500xD60mm |
舱体容积 | 80L | 120L | 150L |
有效尺寸 | W400xD450 | W500xxD400mm | W500xxD550mm |
电极分布 | 6层 | 8-10层 | 10-15层 |
射频电源 | 13.56MHz，0-600W （可选装40KHz ，0-2000W） | 13.56MHz，0-1000W （可选装40KHz， 0-2000W） | 3.56MHz，0-1000W （可选装40KHz， 0-2000W） |
匹配器 | 自动匹配器 | ||
电 流 | 1.2A | ||
时间设定 | 1-99分59秒 | ||
气体稳定时间 | 1分钟 | ||
真空度 | 100pa以内 | ||
激发方式 | 电容式 | ||
控制系统 | 7寸PLC触摸屏控制 | ||
工艺气体 | 2气路 MFC（可选装3路） | ||
真空泵 | 抽速约40m3/h | 抽速约60m3/h | 抽速约60m3/h |
电 源 | AC380V 50-60Hz | AC380V 50-60Hz | AC380V 50-60Hz |
