设计的滚轮贴膜

自动胶膜进给及贴膜

手动晶圆上下料

自动切割胶膜，省力

蓝膜、UV 胶膜可选

PLC+触摸屏

配置光帘保护功能，和紧急停机按钮

三色灯塔和蜂鸣器用于操作状态监控

贴膜品质

没有气泡（不包括灰尘颗粒气泡）

Cycle Time：

≤ 45 秒（不包含上料/下料时 间）

MTBF

>168小时

MTTR

<1小时

停机时间

<3%

更换产品时间：

≤ 10 分钟

晶圆厚度：

100~750 微米

晶圆种类：

硅,  砷化镓或其它材料/单平边,双平边,V 型缺口；

膜种类：

蓝膜或者 UV 膜

贴膜方法：

滚轮贴膜

晶圆台盘：

接触式晶圆台盘

晶圆台盘加热：

可达 120℃ (对应接触式台盘，可 选

晶圆放置精度：

X-Y:  +/- 0.5 毫米； Θ  : +/- 0.5°；

装卸方式：

手动晶圆放置与取出；晶圆在位置检测；

防静电控制：

去离子风扇

切割系统：

自动刀

控制单元：

基于 PLC 控制，10.4”触摸屏

电源电压：

单相交流电 220V,10A；

压缩空气：

60  PSI 清洁干燥压缩空气,流量每分钟 2.5  立方英尺

灯塔：

三色灯塔和蜂鸣器，用于操作状态监测

安全：

配置安全光帘和紧急停机开关；

体积：

950 毫米(宽)*1300 毫米(深)*1800 毫米(高)

净重：

300 公斤