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机构·方式 | 多孔质静压空气轴承 · 工作台回转式 |
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半径方向 回转精度 | (0.02+0.0003H)um (EC2500H) (0.015+0.0003H)um (EC2700H) |
测定径 测定高度 | 内外径都是Φ450mm 外径570mm, 内径420mm |
装载径/积载重量 | Φ600mm/60kg |
上下移动量 | 400mm (使用b触针臂时) |
回转轴轮与上下 移动部的平行度 | 0.4um/200mm |