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| 机构·方式 | 多孔质静压空气轴承 · 工作台回转式 |
|---|---|
| 半径方向 回转精度 | (0.02+0.00035H)um H:工作台面上算起的高度(mm) |
| 测定径 测定高度 | 内外径都是Φ368mm 外径470mm, 内径320mm |
| 装载径/积载重量 | Φ510mm/25kg |
| 上下移动量 | 300mm (使用b触针臂时） |
利用长探针杆臂以及新开发“one touch”式传感器holder可自由进入深穴、平面、倾斜面、内径、外径……等测定点。软件具有提醒功能，可实现编程后一次性的测量样品所有参数。另有防止探针落差过大卡针之保护机构。
横臂方向（半径方向）或上下方向均有自动停止机能，利用伺服控制，可自动找出测定位置，几乎无需手动微调整，操作性大幅上扬。
此方式，可从直线图形上，任何位置直接之，使操作上更加方便，无需细微调整。
