一、简介

1.1 概要

SPK-500S 宽幅等离子清洗机(Plasma cleaner)，气体通过激励电源离化成等离子态，等离子体作用于产品表面，清洗产品表面污染物，提高表面活性，增强附着性能。等离子清洗是一种新型的、环保、高效、稳定的表面处理方式。

1.2 产品特点

u 金属电极之间放置电介质，利用电介质表面的分极现象，形成均匀的电场，产生等离子体。

u 可以在整体大范围内形成等离子体，可以跟自动化流水线搭配使用

u 更可靠的功放与直流模块，采用全自动真空电容匹配器提供长期稳定的制程时间保障

u 适合于大尺寸产品批量生产

u 处理温度低，常规处理温度＜40℃

1.3行业应用

u 显示行业：TP贴合、面板表面活化、ITO涂覆前表面清洗

u 玻璃盖板行业：AF镀膜前处理、AF/AS溢镀去除、油墨印刷

u 半导体：集成封装键合、Wire bond前处理、陶瓷封装、BGA/LED表面活化

u 线路板：FPC/PCB电路板有机物清洗与表面活化

u 塑胶行业：表面改性、表面粗化