UV光氧等离子废气处理一体机作业原理选用低温等离子体分化油雾、废气等污染介质时，等离子体中的能力好离子起决定性的作用。流星雨状的能力好离子与介质内分子（原理）发作非弹性磕碰，将能量转化成基态分子（原子）的内能，发作激起、离解、电离等一系列进程使污染介质处于活化状况。
污染介质在等离子体的作用下，发作活性自由基，活化后的污染物分子通过等离子体定向链化学反应后被脱除。当离子均匀能量超过污染介质中化学键结合能时，分子链开裂，污染介质分化，并在等离子发作器吸附场的作用下被搜集。
在低温等离子体中，可能发作各类型的化学反应，这首先取决于等离子的均匀能量、离子密度、气体温度、污染物介质内分子浓度及共存的介质成分。对气态有用污染物的降解机理有满足的能量来发作自由基，引发一系列杂乱的物理、化学反应。
由低温等离子体引起的气体有用物化学反应是在气相中进行的电离、离解、激起、原子。分子间的彼此结合及加成反应。这个能量足以使大多数气态有用物中的化学键发作开裂，然后使其降解。光氧等离子废气处理一体机一般状况需求装置在通风状况比较好的场所，而且还要在有自然生长光源的状况下进行运用。