INFICON CDG160D/CDG200D SKY电容膜片真空计

INFICON SKY CDG160D和CDG200D高温真空计是高精度总压强测量和控制的。为达到优异的半导体和等离子过程要求的性能，将CDG160D和CDG200D真空计的温度相应地控制于160度和200度。全量程范围从1乇至1000乇，配有全部常用的法兰型式和Fieldbus接口，和提供线性的0至10伏与气体类型无关的压强讯号。INFICON电容真空计采用超纯抗腐蚀的氧化铝陶瓷膜片。陶瓷传感器的优点是讯号稳定性好，从大气压恢复快，预热时间短和超长的使用寿命。INFICON CDG是高质量，成本效益好的压强传感器，用于半导体，等离子和各项要求高的真空应用中。

优越性：

1、  低CoO（拥有成本），50%快速预热，能效高，功耗低

2、  易整合于系统中，宽广的全量程范围，法兰和接口，标准型号带有两个设点

3、  简易的一键操作或遥控讯号调零指令，零点偏离可调

4、  诊断端口用于快速检修和维护

5、  两年保用期，真空计使用寿命长，采用的加热概念和传感器保护

6、  由于的讯号稳定性和可重复性，即使在严酷的等离子应用条件下仍可长期使用，无需重新校准

7、  符合标准：CE,EN,UL,SEMI,RoHS

用途：

1、  刻蚀，PVD,CVD,LPCVD和其它半导体生产过程

2、  化学和腐蚀性高温过程

3、  需要真空计保护的常用薄膜和真空过程