测头测针
圆柱形测针：适用于利用圆柱形的侧面，测量薄断面间的尺寸,曲线形象或加工的孔等；只有圆柱形的断面方向的测量有效，轴方向上测量困难的情况很多(圆柱形的底部分加工成和圆柱形轴同心的球模样时，在轴方向上的测量也可能)；使用圆柱形测头整体(高度)时，圆柱形轴和三坐标测量机轴要*(一般在同一断面内进行测量)。
盘形测针：在球的中心附近截断做成的盘模样的测头；盘形断面的形象因为是球，所以校正原理和球形测头相同；利用外侧直径部分或厚度部分进行测量；适用于测量瓶颈面间的尺寸, 槽的宽或形象等的；利用环规校正较便利
星形测针：用于多形态的多样工件测量；同时校正并使用多个测头，所以可以使测头运动小化，并测量侧面的孔或槽等；使用和球形测头一样的方法进行校正。
点式测针：一般的XY测量时不使用；用于测量精密度低的螺丝槽,标示的点或裂纹划痕等；比起使用具有半径的点式测头的情况，可能精密的进行校正，用于测量非常小的孔的位置等。
球形测针：多用于尺寸, 形象, 坐标测量等；球直径一般为0.3 ~ 8.0mm，多样使用；材料主要使用硬度高，耐磨性强的工业用红宝石。
半球式测针：用于测量深处的形象和孔等；表面粗糙的工件的测量也有效。

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