VP120 Plasma
专为微电子表面清洁与处理设计
可以用于处理各种电子材料,包括塑料、金属或者玻璃等。
用途
·wire bonding 前焊盘的表面清洗
·集成电路键合前的等离子清洗
·ABS 塑料的活化和清洗
·陶瓷封装电镀前的清洗
·其他电子材料表面改性和清洗
特性
·采用 13.56MHz 射频电源搭配自动网络匹配器 或 中频40Khz电源
·产品放置治具灵活多变,可适应不同形状的产品
·产品放置平台灵活移动,方便操作
·极小的占地面积
技术规格 | VP120 |
电极 | 有效尺寸 | 400(W)*410(D)mm |
电极分布 | 6层水平分布,极板间距50mm |
真空腔体 | 尺寸 | 785(W)*485(D)*350(H)mm |
材料 | 航空铝合金 |
主机 | 主机体尺寸 | 1240(W)×1600(H)×1100(D)mm |
安装面积 | 1500*1500mm |
重量 | 标准机型:500KG |
RF电源 | 功率@频率 | 美国CERES-600W@13.56MHz或1000W@40Khz |
真空泵 | 变频器 | 德国西门子变频器控制真空泵电机 |
机械油泵 | 日本ULAVC-60m3/h |
主要配件 | 气体流量计 | SevenStar 2通道0-300sccm |
真空探测仪 | 日本ULAVC皮拉尼式 |
破真空阀门 | 日本CKD气动阀门 |
电磁阀 | 日本SMC真空电磁阀 |
控制方式 | 德国西门子PLC & 人机界面 |
安装条件 | 电力 | AC380,50/60Hz,3Phase 5wire,5.2KVA |
压缩空气 | 0.4-0.6MPa |
工艺气体 | O2 N2 H2 Ar |
排气管道接口 | KF40 |
深圳金铂利莱科技有限公司建议大家在使用等离子清洗机的时候注意以下几点:
1、正确设置等离子设备的运行参数,按时设备使用说明书来执行;
2、保护好等离子体的点火装置,以确保等离子清洗机可以正常的启动;
3、等离子设备在启动前的准备工作,要对相关的人员进行培训,同时确保操作等离子清洗机的人员可以按照要求严格执行各项操作;
4、在一次风管没有通风的时候,等离子体的发生器运行时间不能超过设备说明书上面要求的时间,防止烧坏燃烧器,造成不必要的损失;
5、如果需要对等离子设备进行维护时请将等离子发生器进行断电后再进行相应的操作。
等离子处理设备广泛应用于等离子清洗、刻蚀、等离子镀、等离子涂覆、等离子灰化和表面改性等场合。通过其处理,能够改善材料表面的润湿能力,使多种材料能够进行涂覆、镀等操作,增强粘合力、键合力,同时去除有机污染物、油污或油脂。好了,希望上述介绍能够给各位带来帮助!