输入功率

AC 110V or AC 208~240V( 可选的)

紫外灯

•     固体金属双波汞灯

•     紫外灯功率：zui大55W。

•     波长：254nm和185nm

•     紫外灯使用寿命：2500小时

•     紫外线照射面积：100×100 mm（4”×4”）

•     峰值紫外线强度：4.6毫瓦/平方厘米。

腔室和样品台

•     外形尺寸：9 1/2”×7 7/8”×6”

•     抽屉尺寸：5 1/4”×5 1/4”×1”

•     抽屉到灯的距离：1 1/16“

•     从基座到灯的距离：5/16“

•     硼硅酸盐玻璃基座：4”×4”×3/4”

•     18号钢制底盘和盖板，粉末涂层

•     总重量：9磅

合规

CE认证

保证

一年有限保修，终身支持(耐热玻璃室不保修)

环境要求

•    只在室内使用;海拔高度可达5,562英尺;

•    温度范围41-104华氏度;

•    zui高相对湿度80％，高达87 华氏度线性降低至50％相对湿度，华氏104度;

•    主电源波动不超过额定电压的10％;过压类别II;

•    污染等级2;臭氧水平（环境）测量<45 ppb。

Application

•    清洁SPT，AFM**和表面的分子污染

•    固化UV-粘合剂

•    SAM表面的紫外光图案化

•    氧化PDMS

•    蚀刻，图案，锐化

•    清洁MEMS器件

•    清洁衬底表面，如Si，Ge，GaAs和所有氧化物晶体衬底