氨气纯化装置简介：

净化技术:为了使高纯超净氨达到预期的纯度和洁净度,对与气体接触的所有设备、容器、管路的材质进行预处理,做到无表面吸附、无表面化学反应、无粒子脱落、无死体积、密封性能好。在净化系统中,选择捕集效率高,孔径小的高效过滤器,极大降低产品中的尘埃粒子,达到产品超纯洁净。

纯化技术:对应用于半导体领域的高纯气体纯度要求,特别是影响半导体材料生长的氧、水以及其它杂质含量必须达到ppm-ppb级.我们针对原料气体的杂质含量、理化性质,以高效吸附和高效精馏为主要纯化方法，重点选择选择性好、吸附容量大、纯化深度高的新型吸附剂、高性能催化剂，具有吸附和催化两种功能，杂质脱除达到使用要求。本工艺特别宜于规模化生产。

产品特点：

● 原理简单，结构合理，能耗低

● 气体指标稳定，杂质含量低
● 可选配自动系统，实现无人值守
● 与氨分解装置配套使用，亦可用于其它气体的变温吸附干燥

氨气纯化装置技术指标：

● 压力—— 0.1~ 0.5Mpa(跟进需求压力可调节)

● 常压露点——≤－60℃

● 处理气量—— 3~ 500Nm3/hr

利用分子筛在不同温度下对水吸附量不同的原理，通过常温工作，加热再生得到干燥的氨气。生产高纯氨的基本原理是是以工业一等品液氨(液氨等级划分见表2)为原料，利用各种纯化净化手段生产高纯氨。采用的纯化方法视工业氨中所含杂质的种类、数量、性质和其最终所要达到的纯度而定。一般氨中杂质的种类和数量主要有：油份、烃类、H20、02、Ar、N2、H2、CO和CO2等。