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莱峰科技

不受温度压力的影响如何控制？

超长耐用 轻便简洁 操作简单 放心选择

气体质量流量计/控制器

特点

• 长期零点稳定性，每年变动小于满量程的 0.2%
• 能够根据命令变化迅速进行流量响应并且过冲/下冲可忽略不计
• 流量范围宽 - 从3 sccm 一直到3000 slm
• 耐高压等级 - 高达 10MPA
• 可拆卸式流量传感器
• 不受安装角度影响
• 能和其他质量流量控制器在机械和电气设计方面兼容
• 电驱动阀超调
• 耐化学腐蚀阀门

☆耐压高及适用于真空条件下工作。低压降。工作压力范围宽，气体流量不因温度、压力的变化而变化。

耐用

耐腐

☆主体采用不锈钢（304或316L）结构，气密材料采用VITON、聚四氟乙烯等。适用于各种耐腐蚀性气体。

☆具有精度高、重复性好、响应速度快、软启动、工作稳定可靠。

稳定

精确计量

☆可任意位置安装。电气操作控制显示，使用方便。易于与电气系统或自动控制系统配合。

☆配合流量积算仪，可对气体的瞬时流量和累积流量进行精确计量。

安装便捷

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环保

半岛体

微电子工艺设备

医药

科研院所

精密浓度传感器工艺

特种材料学科

化学化工

食品保鲜

用于对气体质量流量进行精密测量和控制，具有精度高，稳定性好，可靠性高，安装简单，操作方便。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。