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D型：Z轴电动电脑控制 可以自动对焦 测量高度，深度，平面度 T型：选配接触测头组
| 仪器型号 | QS3020 | QS4030 | QS5040 | QS6050 | QS7060 | QS8070 | |
| 仪器参数 | |||||||
| 测 | X | 300 | 400 | 500 | 600 | 700 | 800 |
| Y | 200 | 300 | 400 | 500 | 600 | 700 | |
| Z | 150 | 150 | 150 | 150 | 150 | 150 | |
| 工 | 大理石台面 | 570*355 | 670*460 | 750*560 | 870*650 | 990*760 | 1120*860 |
| 玻璃台面 | 354*254 | 459*359 | 550*440 | 650*540 | 750*640 | 850*740 | |
| 承重/大理石台面 | 50kg/150kg | 50kg/150kg | 50kg/150kg | 50kg/150kg | 50kg/150kg | 50kg/150kg | |
| 影 | Z轴 (D型机) | 全电脑控制，可自动对焦，测量高度，深度，平面度 | |||||
| CCD | 高分辨率彩色摄像机600TV线 | ||||||
| 变焦物镜 | 变倍卡位镜头0.7－4.5X | ||||||
| 视频放大倍率 | 30－180X | ||||||
| 工作距离 | 82mm | ||||||
| 显示分辨率 | 0.0001mm | ||||||
| 重复性 | 2μm | ||||||
| 线性精度(μm) | XYZ轴≦(2.8+L/200)um,Z轴≦(5+L/200)um | ||||||
| 外形尺寸（mm) | 980*620*1600 | 1130*750*1600 | 1600*1200*1700 | 1700*1300*1700 | 1700*1400*1700 | 2260*1550*1700 | |
| 仪器重量(kg) | 230kg | 320kg | 390kg | 470kg | 530kg | 715kg | |
| 照明 | 可程控四环八区LED表面光及轮廓光 | ||||||
| 电源 | 220V±10%(AC) 50HZ | ||||||
