PCE-80 8.5英寸等离子清洗机

PCE-80 8.5英寸等离子清洗机

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2023-01-22 15:22:21
83
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深圳市科晶智达科技有限公司

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产品简介

简要描述:PCE-80是一款较大型的等离子清洗机,等离子腔体为 8.5 “dia x 12““L的石英腔体,采用的射频电源功率0 - 100W连续可调节。此款设备主要是通过空气、氧气或氩气等气体的等离子体来去除基片上的氧化层和污染物,同时也可改变物体表面的性质(如亲水和疏水性等)。对于基片的清洗以及薄膜处理此款设备是较为理想的实验帮手。

详细介绍

PCE-80是一款较大型的等离子清洗机,等离子腔体为 8.5 "dia x 12“"L的石英腔体,采用的射频电源功率0 - 100W连续可调节。此款设备主要是通过空气、氧气或氩气等气体的等离子体来去除基片上的氧化层和污染物,同时也可改变物体表面的性质(如亲水和疏水性等)。对于基片的清洗以及薄膜处理此款设备是较为理想的实验帮手。

性能指标和基本配置
主要特点

● 射频功率: 100 W
● 真空泵功率: < 500W
● 总功率: < 600W
● 电源:AC 220V , 50Hz

射频电源

● 射频功率可在 0 - 100W之间调节
● 频率: 13.56 MH
● 可以与本公司工作人员联系将原有电源升级为300W或500W的射频电源,来进行等离子刻蚀或等离子灰化等实验

等离子腔体

● 8.5" O.D x 8.2" I.D x 12.5" L 高纯石英腔体
● 铝制折叠式法兰来进行真空密封
● 法兰上有一个直径为60mm的观察窗口
● 此设备屏蔽射频辐射,零射频泄漏

控制面板

● 通过6" 彩色触摸屏,可控制射频功率、真空泵的开启、清洗时间和气体流量等.
● 仪器内部安装有一0 - 500ml/minute质量流量计,可精确地控制进气流量
1

真空泵(选配)

● 仪器必须使用抽气速率大于4L/S的真空泵
● 极限真空度为50mTorr(参考值,具体请点击)
● 真空泵模块

通入气体

● 等离子腔体中可以通入多种气体来产生等离子,如N2, Ar, Air,H2、O2和混合气体等等(根据材料性质所定)
● 不能使用及腐蚀性气体。

可选

● 可选购 2" - 6" 石英舟来盛放基片
● 可选购2-4通道质子或浮子混气系统
● 图片(空气系统模块)
1

外形尺寸

620 L ×600 W ×600 H, mm

相关应用

● 请自行根据您的应用测试的等离子功率
● 对于等离子清洗,根据工艺,通常保持射频功率在10 - 30W之间
● 对于等离子刻蚀,根据工艺,通常保持射频功率在35 - 80W之间
● 可根据要求提供300W高功率射频电源

质量认证

CE认证

保修期 一年保修,终身技术支持。
特别提示:
1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。
2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。
点击查看售后服务承诺书。
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