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PCE-80是一款较大型的等离子清洗机,等离子腔体为 8.5 "dia x 12“"L的石英腔体,采用的射频电源功率0 - 100W连续可调节。此款设备主要是通过空气、氧气或氩气等气体的等离子体来去除基片上的氧化层和污染物,同时也可改变物体表面的性质(如亲水和疏水性等)。对于基片的清洗以及薄膜处理此款设备是较为理想的实验帮手。
性能指标和基本配置 | |
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主要特点 | ● 射频功率: 100 W |
射频电源 | ● 射频功率可在 0 - 100W之间调节 |
等离子腔体 | ● 8.5" O.D x 8.2" I.D x 12.5" L 高纯石英腔体 |
控制面板 | ● 通过6" 彩色触摸屏,可控制射频功率、真空泵的开启、清洗时间和气体流量等. |
真空泵(选配) | ● 仪器必须使用抽气速率大于4L/S的真空泵 |
通入气体 | ● 等离子腔体中可以通入多种气体来产生等离子,如N2, Ar, Air,H2、O2和混合气体等等(根据材料性质所定) |
可选 | ● 可选购 2" - 6" 石英舟来盛放基片 |
外形尺寸 | 620 L ×600 W ×600 H, mm |
相关应用 | ● 请自行根据您的应用测试的等离子功率 |
质量认证 | CE认证 |
保修期 | 一年保修,终身技术支持。 特别提示: 1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。 点击查看售后服务承诺书。 |