高频输出 100~1,000W（V1000）/100~1,000W&1,500W（V1000X/1000XS）

电极尺寸 280×280mm（V1000） 300×300mm（V1000X） 400×375mm（V1000XS）

使用等离子的表面处理装置。着重于“使用简单”的台式高性能型号，调取数据简单，以电子材料为中心，可对应多种用途。

特征

● 可变更电极构造提高等离子效果。
● 搭载高精度适配器，高性能RF 电源。
● 可根据需求规格提供定制。

用途
● 硅晶圆的灰化及蚀刻
● 基板表面污垢处理
● IC/LED封装、BGA/CSP基板处理
● 半导体相关部品的电子材料的干式清洗
● 自然氧化膜·有机物去除
● 界面活性处理
● 表面污染物去除

内槽

规格

管路连接图