To One气浮隔震光学平台

ZI-QF 科研气浮隔振光学平台（科研级）

应用领域: 

适合于高倍数电子显微镜、扫描探针显微镜、激光干涉仪、激光共聚焦显微镜等领域应用

产品特点: 

◆公司依托于航空工业人员背景研发制造的具有负载能力强、刚性强、稳定性高、隔振效果好的科研级气浮隔振光学平台。 

◆优异的隔振性能:内置精密空气弹簧隔振系统，具备优秀的固有频率，对多个方向的振动特别是垂直方向有着良好衰减效果，避免外界振动干扰设备仪器精度，提高仪器设备使用精度和使用效率。 

◆自动调节水平功能:放置负载的位置发生变化，平台迅速通过高精度阀门自动调整空气弹簧内部的气压，自动保持水平。气动元器件全部执行德国 FESTO 产品，标配进口无油压缩机。 

◆台板采用蜂窝芯夹板结构,具有重量轻、高刚度、高阻尼等优点，上面板为 1cr17 优质高导磁不锈钢，经精密研磨处理，平面度高，回旋打磨工艺清除毛边，达到无反射、亚光效果， 面板具有M6螺纹孔阵列，易于固定光学元件。 

◆隔振支撑为优质钢管焊接而成，整体坚固稳定。 

◆工作压力为 0.35~0.6Mpa，标准配置调压过滤阀将保证空气弹簧的长期有效工作，用户只需要将气管连接进气口，就能使装置正常发挥隔振功能，气源可通过小型空气压缩机或氮气瓶供给，便于在安静场合使用。

技术指标: 

◆平面度:< 0.05mm/m2

◆M6螺纹孔/孔间距 25X25mm
◆表面粗糙度:< 0.8μm
◆固有频率：X方向:1.0Hz~1.5Hz；Y方向：1.0Hz~1.5Hz
◆减振效率：X方向< 5Hz 时:88%~94% ；Y方向<5Hz 时:86%~92%

            X方向<10Hz时:92%~98% ；Y方向<10Hz时:90%~95% 

◆振幅:< 1μm 

◆荷载能力:800kg/m2 

◆重复定位精度:±0.05mm 

产品型号：（可根据客户要求定制不同尺寸）

实际安装案例：

至一科技主动主动隔震系统，桌上型主动隔震台，桌上型被动隔震台，桌上型气浮隔震台，被动减震器......

广泛应用于电子显微镜、显微镜、半导体设备（光刻机、晶圆测试仪）、激光设备、原子力显微镜、干涉仪、轮廓仪等等

图1:ArisMD主动隔震系统安装案例（主要应用于电子显微镜、半导体设备）

图2:ArisTT主动隔震台安装案例（主要应用于AFM、干涉仪、桌上型电镜）

图3:SotoTT被动隔震台安装案例（主要应用于显微镜、电子天平、激光设备、半导体测试测试设备）

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