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传感器单元SW1-N1/SW1-N2
本真空计属皮拉尼真空计，可测量的压力范围从大气压至5×10-2Pa。
本真空计从控制面板上去除了操作及显示部分，只保留了必要的功能，从而降低了价格，使外形更小巧。
典型用途
· 可用于半导体、电子原件为首的各种制造装置的低真空领域的过程管理；
· 可用于真空炉为首的各种产业机器的低真空领域的过程管理；
· 可用于连续性、多样性工作室的各种制造设备的低真空领域的过程管理。
特 点
可测量范围广：从大气压至5×10-2Pa
传感器与控制部一体化：节省空间、降低能耗
