BPG402-Sx 大气压至超高真空真空计

BPG402-Sx 大气压至超高真空真空计

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2023-05-26 11:32:33
91
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上海森懋机械设备有限公司

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产品简介

益处测量范围非常广

详细介绍

益处

  • 测量范围非常广,从 5×10-10 毫巴至大气压(3.8×10-10 托至大气压)
  • 10-8 … 10-2 毫巴过程压力范围内 5% 的优良可重复性
  • 皮拉尼联锁保护灯丝,防止过早烧毁
  • 两根使用寿命长的氧化钇铱丝
  • 备有可选的图形显示屏和现场总线接口
  • 高真空皮拉尼自动调节,减少操作员干预
  • 易于更换的传感元件与板载校准数据确保高再现性
  • RoHS 合规

典型应用

  • 对半导体过程和传输腔室的压力测量
  • 工业镀膜
  • 低真空和超高真空范围内的一般真空测量和控制

新闻

NEW! With EtherCAT digital interface available now !


规格

类型

BPG402-S

测量范围(空气、O2CON2

5×10-10 … 1000 

精度

 

10-8 … 10-2 毫巴

% of reading

±15

可重复性

 

10-8 … 10-2 毫巴

% of reading

5

除气 (1)

 

p < 7.2 × 10-6

mbar

electron bombardment, max. 3 min

压力,更大

bar (absolute)

2

温度

 

运行(环境)

°C

… +50

贮存

°C

-20 … +70

在法兰处烘烤,无电子设备 BPG402-S

°C

80

无电子设备,在法兰处烘烤 BPG402-SL

°C

150

电源电压

+20 … +28

输出信号模拟

 

输出信号

V

… +10

测量范围

V

+0.774 … +10

电压与压强

volts per decade

0.75

错误信号

V

0.1 / 0.3 / 0.5

更小负载电阻

k

10

设定点继电器

 

设定点数量

1

范围

mbar

1×10-9 … 100

继电器触点

n.o., potential free

滞后

% of reading

10

触点额定值

30

数字功能

degas

接口(数字)(2)

RS232C

发射控制

automatic / manual via interface

单丝

two Yt2O2 coated Ir

单丝状态/继电器

LED / relay

电气连接

D-Sub, 15-pin, male

电缆长度,更大 (3)

m (ft.)

100 (330)

暴露于真空的材料

Yt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass

内部容积 KF / CF

cm(in.3)

24 (1.46) / 34 (2.1)

重量 KF / CF

g

450 / 710

保护等级

IP30

Profibus DP

 

波特率

9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500

地址

2 switches (address 00 - 127) or network programmable

数字功能

read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; emission control, degas function, monitor gauge status, filament status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information

模拟功能

… 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B

设定点继电器: 设定点数量

2

设定点继电器: 范围

mbar

1×10-9 … 100

设定点继电器: 继电器触点

n.o., potential free

设定点继电器: 滞后

% of reading

10

设定点继电器: 触点额定值

30

Profibus DP 连接器

D-Sub, 9-pin, female

CDG(模拟输出、电源电压、设定点)连接器

D-Sub, 15-pin, male

DeviceNet

 

协议

DeviceNet, group 2 slave only

数据率开关

kBaud

125, 250, 500 or network programmable

电缆长度 125 kbps

m (ft.)

500 (1650)

电缆长度 250 kbps

m (ft.)

250 (825)

电缆长度 500 kbps

m (ft.)

100 (330)

MAC ID

2 switches (address 00 - 63) or network programmable

数字功能

read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; emission control, degas function, monitor gauge status, filament status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information

模拟功能

… 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B

技术规格

DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile"

设备类型

''CG'' for combination gauge

I / O 从属传讯

polling only

设定点继电器: 设定点数量

2

设定点继电器: 范围

mbar

1×10-9 … 100

设定点继电器: 继电器触点

n.o., potential free

设定点继电器: 滞后

% of reading

10

设定点继电器: 触点额定值

30

DeviceNet™ 电源电压

+11 … +25

真空计电源电压

+20 … +28

DeviceNet™ 连接器

Microstyle, 5-pin

BPG(模拟输出、电源电压、设定点)连接器

D-Sub, 15-pin, male

1) 除气期间降低精度

2) 同时使用 RS232C 或 VGC40x 系列控制器,不允许使用现场总线

3) 适用于 RS232C 运行 <30m

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