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蔡司光学显微镜
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2023-05-25 10:11:26
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分析从极小的MEMS传感器到超大XXL晶圆,或甚至整块平板显微器,其间不会对样品造成破坏
详细介绍
分析从极小的 MEMS 传感器到超大 XXL 晶圆,或甚至整块平板显微器,其间不会对样品造成破坏。借助 300 mm 的横向移动距离和 254 mm 的垂直深度,您可以在 Axio Imager Vario 下检测大量样品。一体化机柱设计确保了稳定性。在超净室内检测晶圆的应用中 – Axio Imager Vario 已通过 DIN EN ISO 14644-1 标准认证,并满足洁超净室等级 5 的要求。利用驱动 Z 轴的电动马达与自动聚焦硬件确保自动调整至更佳聚焦位置。
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