产品特点

量程低至10SCCM

宽量程比：1000:1

响应时间：100-1000ms

无需预热时间

多功能数字显示屏，带摁键背光

内置98种常用气体，可编辑混合气体

测量参数：质量流量、体积流量、温度和压力，累积流量可选

技术参数

量程范围：从0~10SCCM至0~5000SLPM（10000SLPM for H2）

可测介质：非腐蚀性、洁净、干燥气体（如需测量腐蚀性气体可选MS系列）

精度：10 SCCM ~ 20 SLPM 量程段：

           普通精度 ± 0.6% 读数或 ± 0.1% 满量程（取较大值）

           高精度 ± 0.5% 读数或 ± 0.1% 满量程（取较大值）

           50SLPM ~ 5000SLPM量程段

           普通精度 ± 2% 满量程

重复性：±0.2%

测量范围：0.01%~99%满量程

温度范围：-10~60℃（可选高温选项）

温度精度：±0.75℃

温度漂移：0.02%满量程/℃

耐压：320PSIA

压力漂移：± (0.08% of Reading + 0.02% of Full Scale) / atm  from calibration conditions

压力精度：>1atm:±0.5%读数，<1atm:±0.07PSIA

操作压力低至：11.5PSIA（更低压力请来电垂询）

防护等级：IP40

湿度范围：0~95%不凝结

接液材质：302&303不锈钢，Viton等多种材质

模拟信号：0-5VDC；1-5VDC；4-20mA；0-10VDC

可选第二路模拟输出    质量流量、体积流量、压力、温度

数字信号：RS232；RS485

          通讯协议：Modbus RTU、Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus

标准电气连接：DB9 male, 可选DB15、6针工业接头、8针Mini-DIN等

供电电源：9-24VDC 40mA min（如选4 - 20 mA或0-10VDC输出，须12 - 24VDC）

标准状态：默认25℃，1atm，显示屏上可自定义其它标准状态

操作软件：自带操作软件，可存储、导出数据

更多个性化性能及选项请来电垂询！

订货参数

气体种类

量程范围（标准状态下量程）

使用压力

使用温度

精度要求

输出信号

接口类型

如需选型报价请来电垂询！