装置概述：

装置依据国家计量技术规范的具体规范要求设计制造，可检定校准各种规格的真空计产品。系统采用品牌真空计标准器和真空获得设备，校验室配备超高真空和高精度自动压控系统，设计了专业的多通道测控软件，可适用不同的被检定对象。结构紧凑、功能齐全、校准效率高。标准计经国家检定并出具检定/校准报告，符合国家真空量值溯源相关规定。

主要特点：

•  真空能力强，配备德国普发专业高转速分子泵系统，更便于余气排空；
• 压力控制范围大，从低真空规-超高真空规管任意切换检测压力和气体，极限真空可达1×10^-7Pa；
• 采用德国 INFICON CDG CUBE专用标准计量级电容膜片规作为标准计；
• 可同时检测 多个不同类型的真空规管，每个检测头单独配有超高真空角阀，互不影响；
•  整机尺寸小，真空腔体可快速到达可检状态，检测效率高；
• 专用测控软件，Windows系统开发应用，方便在线输出作业，现场曲线可远程监控；
• 多段式结构，设备配置根据要求可升级度高；

系统原理：

设备系统图：

参照技术标准：

• JJF1050-1996《热传导真空计校准规范》
• JJF 1503-2015《电容薄膜真空计校准规范》
• JJG(）63-2015《真空计（比对法）检定规程》
• JJF062-1999《电离真空计校准规范》

技术参数：

• 检验室极限真空值：≤1×10^-6Pa；
• 检验室不烘烤极限真空值：≤1×10^-5Pa；
• 检验室烘烤温度：室温～200℃±5°；
• 设备漏率：＜1×10^-10Pam³/s；
• 校验室压力调节范围：1×10^-5Pa～1×10⁵Pa；
• 扩展不确定度U_rel≤5%，(k=2)，系统的综合校正误差度≤3%；
• 校验室压力调节精度：±0.01Pa；

设备配置：

• 德国普发分子泵+双级旋片真空泵（选配干式真空泵）;
• 圆柱形真空腔室（选配圆形腔室）
• 赤道8工位CF-F型真空接口；
• INFICON CDG CUBE标准计量级薄膜真空计；
• 高精度压控系统+质量流量计控制进气压力；
• 专业开发Windows应用测控软件，12通道测控数据及时互联互通。
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• 技术服务及质量保证

• 本系统采用高标准计量行业模块构建，质量稳定可靠、通用配件易于更换、作业效率更高、质量满足或高于计量行业规范设备要求。
• 项目按ISO9001质量管理体系组织设计、加工、装调、检验、包装、运输。
• 提供该设备的技术使用说明书、产品合格证、外购配件仪器仪表说明书，设备常用易损件清单等规范文件。
• 在甲方现场验收后，一年内免费维修正常使用出现的故障，非正常的故障维修只核收工本费及差旅费，终身维修只核收工本费及差旅费。

鑫镭真空技术（东莞）有限公司专业为计量单位、企业和科研项目制作用于各种规格的真空计检定、校准系统，提供各类真空计测试和维修，我们拥有专业的技术团队和设备，质量可靠，服务周到，可提供多个案列参考。