Agilent FRG-700/FRG-702 全量程皮拉尼反磁控真空计 主动式
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湖南毫巴真空技术有限公司
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主动式真空计
FRG-702 为 FRG-700 的全金属型号,内含金属密封的真空密封通导件。该真空计可以在比 FRG-700(法兰处 55 °C)更高的温度(法兰处 150 °C)下工作。
在一体化、紧凑且经济的规管内集成两种测量技术
测量从 3.8 x 10-9 Torr 至大气压(5 x 10-9 mbar 至大气压)的过程和极限真空
带有一个对数模拟量输出信号的一体化紧凑规管可大幅降低安装、设置和集成的复杂性
适合监控高真空压力、蒸镀和溅镀系统的极限压力,以及中高真空范围内的普通真空测量和控制
灯丝不易损坏
优异的启动性能
便于清洁和修复
使用成本低
高电压 LED 指示灯可快速提供可视化的状态指示
性能指标
±30%
<10 ms(当压力大于 10–6 mbar 时),≈ 1000 ms(当压力等于 10–8 mbar 时)
+5 to +55 °C
150 °C
0-10.5 VDC
5 x 10–9 至 1000 mbar
3.8 x 10–9 至 760 Torr
FCC 68 设备连接器,8 芯,母头
–40 至 +65 °C
注:
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