产品简介

CDG025D-X3 电容膜片真空计SKY® CDG025D-X3 0.1 ... 1000 托 / 毫巴过程压力真空计INFICON SKY CDG025D 电容膜片真空计属于高精度温度补偿型真空计，在苛刻的生产环境中具有稳定的性能。 *的数字电子设备提高真空计的性能和易于使用的特点，如一键调零功能和设定点调整。抗腐蚀性的超纯陶瓷传感器具有的零点稳定性和预计数百万次压强周期（包括大气冲击）的长使用寿命。的传感器屏蔽（申请中）保护真空计免受过程污染。坚固耐用的机械设计和数字电子设备改善了 EMC 兼容性、长期稳定性和温度补偿。 CDG025D 为电源接通后的快速稳定与暴露大气压后的快速恢复等特性设定了新标准。市场价： 0.00价格：0.00产品描述：：耐腐蚀高精度温度补偿型压力计，0.1 ... 1000 托 / 毫巴 ......

详细介绍

SKY® CDG025D-X3 0.1 ... 1000 托 / 毫巴过程压力真空计

INFICON SKY CDG025D
电容膜片真空计属于高精度温度补偿型真空计，在苛刻的生产环境中具有稳定的性能。 *的数字电子设备提高真空计的性能和易于使用的特点，如一键调零功能和设定点调整。
抗腐蚀性的超纯陶瓷传感器具有的零点稳定性和预计数百万次压强周期（包括大气冲击）的长使用寿命。的传感器屏蔽（申请中）保护真空计免受过程污染。
坚固耐用的机械设计和数字电子设备改善了 EMC 兼容性、长期稳定性和温度补偿。 CDG025D
为电源接通后的快速稳定与暴露大气压后的快速恢复等特性设定了新标准。

益处

全刻度范围从 100 毫托 … 1000 托
电源接通后快速稳定
暴露于大气压后快速恢复
防腐陶瓷传感器
的长期信号稳定性
温度补偿
传感器防污染双层保护
一键调零功能
电源范围广
2 个设定点
RS232 接口
符合洁净室标准

典型应用

用于刻蚀、CVD、PVD、ALD 的半导体生产设备
数据存储和显示制造设备
工业真空设备
常规高精度压力测量

规格

类型		1000 Torr / 1100 mbar	500 ... 10 Torr / mbar	1 Torr / mbar	0.25 Torr	0.1 Torr / mbar
精度 (1)	% of reading	0.2	0.2	0.2	0.25	0.5
温度效应
零点	percent FS/°C	0.005	0.005	0.015	0.02	0.02
满量程	% of reading / °C	0.01	0.01	0.01	0.03	0.03
分辨率	percent FS	0.003	0.003	0.003	0.003	0.003
压力，	kPa (absolute)	400	260	260	130	130
反应时间 (2)	ms	30	30	30	130	130 / 30 ⁽³⁾
读数	percent FS	0.01	0.01	0.01	0.01	0.01
建议的读数	percent FS	0.05	0.05	0.05	0.05	0.05
建议的控制压力	percent FS	0.5	0.5	0.5	0.5	0.5
温度
运行（环境）	°C	+5 … +50	+5 … +50	+5 … +50	+5 … +50	+5 … +50
在法兰处烘烤 (4)	°C	≤110	≤110	≤110	≤110	≤110
贮存	°C	–40 … +65	–40 … +65	–40 … +65	–40 … +65	–40 … +65
电源电压	V (dc)	+14 … +30	+14 … +30	+14 … +30	+14 … +30	+14 … +30
功耗	W	≤1	≤1	≤1	≤1	≤1
输出信号（模拟）	V (dc)	0 … +10	0 … +10	0 … +10	0 … +10	0 … +10
保护等级		IP 30	IP 30	IP 30	IP 30	IP 30
标准
CE 合规		EN 61000‑6‑2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS	EN 61000‑6‑2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS	EN 61000‑6‑2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS	EN 61000‑6‑2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS	EN 61000‑6‑2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS
ETL 认证		UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1	UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1	UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1	UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1	UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1
电气连接		D-Sub, 15-pin, male	D-Sub, 15-pin, male	D-Sub, 15-pin, male	D-Sub, 15-pin, male	D-Sub, 15-pin, male
设定点
设定点数量		2 (SP1,SP2)	2 (SP1,SP2)	2 (SP1,SP2)	2 (SP1,SP2)	2 (SP1,SP2)
继电器触点	V (dc)A (dc)	30	30	30	30	30
滞后	percent FS	1	1	1	1	1
暴露于真空的材料		Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L ⁽⁵⁾)	Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L ⁽⁵⁾)	Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L ⁽⁵⁾)	Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L ⁽⁵⁾)	Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L ⁽⁵⁾)
内部容积
内部容积 1/2'' 管	cm³ (in.³)	3.6 (0.22)	3.6 (0.22)	3.6 (0.22)	3.6 (0.22)	3.6 (0.22)
内部容积 DN 16 ISO KF	cm³ (in.³)	3.6 (0.22)	3.6 (0.22)	3.6 (0.22)	3.6 (0.22)	3.6 (0.22)
内部容积 DN 16 CF-R	cm³ (in.³)	3.6 (0.22)	3.6 (0.22)	3.6 (0.22)	3.6 (0.22)	3.6 (0.22)
内部容积 8 VCR®	cm³ (in.³)	3.6 (0.22)	3.6 (0.22)	3.6 (0.22)	3.6 (0.22)	3.6 (0.22)
重量
重量 1/2'' 管	g	310	310	310	310	310
重量 DN 16 ISO KF	g	330	330	330	330	330
重量 DN 16 CF-R	g	350	350	350	350	350
重量 8 VCR®	g	370	370	370	370	370

(1) 25 °C 环境温度时非线性、滞后、可重复，运行 2 小时后不产生温度效应。

(2) 增加 10 ...90 % FS

(3) 仅适用于压力控制类型