YAMATO等离子清洗机PR500-浚和（上海）仪器科技有限公司手机版

详细介绍

低温等离子·经典桶型。

PR500：手动控制 PR510：自动触摸屏控制
内槽
硅晶圆灰化状态
低温等离子的经典款非常具有历史性。采用自动协调功能及触摸屏操作（PR510）,提高了操作性及安全性,是一款小型紧凑型的等离子处理设备。
● 去除光刻胶
● 部品清洗
● 界面活性处理
● 微研磨
● 硅晶圆，玻璃基板对应

用途
● 大口径（Φ215mm）石英反应腔
● 小型一体化设计

规格：

型号	PR500	PR510
等离子模式	DP模式，桶形
高频输出功率	Max500W
频率	13.56MHz
同调方式	自动协调
反应腔	石英Φ215×305mm
反应气体	2系统（O₂／CF₄）
控制	手动	触模屏自动控制
配管材质	不锈钢、特氟龙
外形尺寸	W438 x D520 x H760mm	参照规格书
重量	约60kg	参照规格书
电源	单相AC100V 9A	三相AC200V 8A

产品简介

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