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型号 | V1000 | |
方式 | DP&RIE双模标准装备 | |
性能 | 发生器功率: | 0-1000W |
发生器频率: | 射频RF13.56Mhz | |
发生器匹配方式: | 自动匹配(Auto matching) | |
构成 | 腔体材质: | 铝制腔体 |
腔体内尺寸: | 400×400×384mm 约61.4L | |
电极尺寸: | 300mm×300mm | |
反应气体: | 双路工艺气体,可支持氧气、氩气、氮气等非腐蚀性气体 | |
填充气体: | 一路氮气 | |
控制方式: | 全自动控制,5.7寸液晶触摸屏 | |
真空度显示: | 测量高真空的电离式真空计标准配备,实时显示腔体内真空度 | |
配管材质: | SUS不锈钢以及特氟龙 | |
门: | 铰链门 | |
涂装颜色: | 标准色,白系 | |
外形尺寸: | W700×D800×H1600mm (高度含警报灯) | |
真空泵: | 无油干式真空泵 抽速100m3/hour,吸气口NW40,排气口NW25 | |
电源规格: | 3phase AC200V 50/60Hz 8A | |
重量: | 约215kg | |
附属品 |
| 真空管件一套、真空转接接头一套 |