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主要技术参数 | 1. 便捷的FULL PC触摸屏控制系统 2. 根据工艺要求不同,可设定功率、压强、气体流量与时间等参数 3. 双路工作气体,气体流量通过数字式流量计(MFC)控制 4. *反应舱为不锈钢制,L400xD625xH600mm ,容积为150L 5. 反应舱门铝制,带有玻璃观察窗 6. 样品托盘:十层,W340*D580mm/层 7. 配有Pirani压力计,实时数字显示反应舱的压力值 8. 高周波电流频率13.56MHz功率0~600W (或者0~1000W) 9. 反射波自动调节,无须手工调节 10. 电极材质为铝/不锈钢 11. 真空泵为Leybold D65B LVO 100,排气速度65m3/hour,配有氧气强制进气阀 12. 配有压力传感器,可根据工艺要求设定压力值 13. 600mm(L)*800mm(D)*1700mm(H)(含电源线突出部分) 14. 电源电压:三项AC400V 32A |