PLUTO-F(14.5L)实验室方腔等离子清洗机

PLUTO-F(14.5L)实验室方腔等离子清洗机

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2023-12-13 10:52:32
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上海沛沅仪器设备有限公司

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产品简介

PLUTO-F型等离子体表面处理系统是一款功能强大的桌面型表面等离子体设备,非常适合于高校、科学研究所和企业实验室,或者小批量生产,需要低成本运作且高效处理的企业。它具备等离子设备几乎所有的功能,具有较大的腔体尺寸和灵活的电极配置方式。

详细介绍

产品特点

1. 桌面型,性能稳定、操作简便、使用成本极低、易于维护,高性价比。


2.小身材,有效处理面积大,可以轻松处理8寸硅片去胶等应用,可以处理203mm*203mm样品。

尺寸.png


3.采用气浴电极,清洗效率高。

电极.png



4.灵活的电极配置方案,最多可以处理2片8寸硅片

电极-2.jpg


5.对各种几何形状、表面粗糙程度各异的金属、陶瓷、玻璃、硅片、塑料等物件表面进行超清洗和表面改性。


技术参数

1. 真空腔规格: 材质6061-T6铝合金 240mm*300mm*200mm

2. 电极:平板气浴电极,材质6061-T6铝合金

3. 电极尺寸:205mm *205mm

4. 频率:13.56MHz (可选配40KHz射频等离子源)

5. 功率:0-500W连续可调,精度1W,可在设备运行中随时调整参数

6. 气体控制:针式气体流量阀, 60-600ml 2路气体

7. 真空计:电偶式真空计,精度:0.01mTor

8. 控制方式:4.3寸工业控制触摸屏,全手动控制和全自动控制两种控制方式

控制软件功能:界面显示实时工作状态


应用领域

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