- 产品介绍 -

等离子清洗机机又叫等离子刻蚀机，等离子表面处理仪、等离子清洗系统等。等离子刻蚀，是干法刻蚀中见的一种形式，其原理是暴露在电子区域的气体形成等离子体，由此产生的电离气体和释放高能电子组成的气体，从而形成了等离子或离子，电离气体原子通过电场加速时，会释放足够的力量与表面驱逐力紧紧粘合材料或蚀刻表面。某种程度来讲，等离子清洗实质上是等离子体刻蚀的一种较轻微的情况。进行干式蚀刻工艺的设备包括反应室、电源、真空部分。产品工件送入被真空泵抽空的反应室。气体被导入并与等离子体进行交换。等离子体在工件表面发生反应，反应的挥发性副产物被真空泵抽走。等离子体刻蚀工艺实际上便是一种反应性等离子工艺。

- 产品参数 -

- 设备优势 -

> 电源：采用高压激励电源电路技术，产生高密度等离子体，确保出众的清洗效果。

> 全面安全防护：温度安全防护功能，过载防护功能，短路断路报警防护功能，各种误操作保护功能。

> 放电技术：特殊处理及特殊结构的放电装置，确保形成稳定均匀的等离子体。

> 封性的真空体设计：级的高真空度真空腔体设计及制造工艺，配置进口真空泵。

> 优质产品部件：产品全部部件采用国内外优质部件，确保设备性能*。

> 超低清洗温度：满足不同场合温度要求，不对清洗产品造成温度影响。

> 精容数控加工：进口精密CNC数控机床加工工艺，并配备进口三坐标测量仪进行质量控。

> 适用形状复杂样品：清洗各种复杂形状的产品，包括内孔内壁，均匀清洗。