等离子清洗是一种“干式”的清洗工艺，处理完后材料能够立即进入下一步的加工过程，玻璃光学等离子清洗机作为重要的材料表面改性方法之一，是一种稳定而又高效的工艺过程，处理温度低至40℃,低温处理确保样品表面无损坏。

（1）什么是等离子清洗机？

等离子清洗机(plasma cleaner)也叫等离子表面处理仪，是一种全新的高科技技术，利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。等离子体是物质的一种状态，也叫做物质的第四态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的“活性”组分包括：离子、电子、活性基团、激发态的核素（亚稳态）、光子等。等离子清洗机就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁等目的。

（2）等离子清洗机的机理

主要是依靠等离子体中活性粒子的“活化作用”达到去除物体表面污渍的目的。就反应机理来看，等离子体清洗通常包括以下过程：无机气体被激发为等离子态;气相物质被吸附在固体表面;被吸附基团与固体表面分子反应生成产物分子;产物分子解析形成气相;反应残余物脱离表面。

等离子清洗技术在处理中具有如下优势：

（a） 环保节能。相比于传统湿法清洗技术，等离子清洗技术使干式工艺，不消耗水和化学试剂，省能源、无污染

（b） 具有在线生产能力，能实现全自动化处理，处理时间短，效率高，成本低

（c） 不分处理基材类型，均可进行处理，能处理形状较复杂的材料，材料表面处理的均匀性好。

（d） 对材料表面的作用仅涉及到纳米级处理，可在保持处理材料原本的同时，赋予其另一种新的功能

（e） 处理温度低，不对材料表面造成损害，常规样品处理后较长时间内保持效果良好

（3）产品结构

等离子清洗机主要由高压激励电源、等离子发生装置喷枪及控制系统三大组成部分构成。

A、高压激励电源：

等离子体的产生需要高压激励，大气等离子采用中频电源激励，频率在10-40KHz。高压则在4-10KV，参数根据样品实际情况可进行调节，达到效果

B、等离子发生装置喷枪：

大气等离子清洗机发生装置喷枪，可分为射流直喷和旋转直喷两种，区别在于处理的有效面积不同。

C、控制系统：

控制系统作用在于控制整个大气低温等离子清洗设备的运行，以及整体系统的保护。

（4）参数设置

（5）设备用途

用于清洗及激活表面性能，几乎所有的材料都能使用等离子进行精密清洗和表面激活

> 应用于去除油脂、油、氧化物、纤维，去除硅氧树脂（LABS-free），邦定、焊接、粘接前预处理，金属部件涂装前预处理等

> 电子行业的手机壳印刷、涂覆、点胶等前处理，手机屏幕的表面处理

> 国防工业的航空航天电连接器表面清洗

> 粘接前、涂装前、印刷前的预处理，粘接、锡焊、电镀前的表面处理

> 表面活化，生物材料的表面修饰，电线电缆表面喷码，塑料表面涂覆，印刷涂布或粘接前的表面处理

> 锂电池模组预处理和电池组的粘接，电池组塑料外壳和防护铝壳的预处理与粘接

> COF 或 COB 制程的电极表面清洁，LCD 或 OLED 的玻璃清洁，IC 封装 LED 封装的表面清洁或改质，PCB 的表面清洁、活化、改质或去残胶